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製品の詳細
◆プローブと試料の組合せ式移動走査を実現する商業化原子間力顕微鏡、
◆3軸独立閉ループ圧電並進式走査台を採用し、広範囲の高精度走査を実現する、
◆3軸独立型走査、XYZ互いに影響せず、三次元材料及び形態検査に非常に適している、
◆電動制御サンプル移動台と昇降台は、多点位置を任意にプログラムして高速自動化検査を実現することができる、
◆竜門架橋式走査ヘッド設計、大理石台座、真空吸着と磁気吸着式ステージ、
◆モータは加圧電気セラミックスの自動検出のインテリジェント針送り方式を自動的に制御し、プローブ及びサンプルを保護する、
◆高倍補助光学顕微鏡測位、リアルタイム観測と測位プローブ及びサンプル走査領域、
◆閉ループ圧電走査台は非線形補正を必要とせず、ナノ特性化と測定精度が優れている99.5%。
技術パラメータ
| 動作モード | 接触モード、タップモード | サンプル重量 | ≤0.5Kg |
| オプションモード | 摩擦力/横力、振幅/位相、磁力/静電力 | Z昇降台 | ステッピングモータ駆動制御、最小ステップ長10 nm |
| りょくスペクトルきょくせん | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | Z昇降ストローク | 15 mm（オプション20 mm、25 mm） |
| XYスキャン方式 | サンプル駆動式走査、閉ループ圧電並進式走査台 | オプチカルポジショニング | 5 X光学対物レンズ（オプションで10 X/20 X対物レンズ） |
| Zスキャン方式 | プローブ駆動式走査 | カメラ | 500万画素デジタルCCD |
| XY走査範囲 | 閉ループ100×100 um | そういんそくど | 0.6Hz~30Hz |
| Z走査範囲 | 5um | 走査角度 | 0~360° |
| スキャン解像度 | 閉ループXYは0.5 nm、Zは0.05 nm | 実行環境 | Windows XP/7/8/10オペレーティングシステム |
| XYサンプルテーブル | ステッピングモータ駆動制御、移動精度1 um | 通信インタフェース | USB2.0/3.0 |
| XY移動ストローク | 100×100 mm（オプション200×200 mm、300×300 mm） | けいきこうぞう | 竜門架設型走査ヘッド、大理石台座 |
| サンプルステージ | 直径100 mm（オプション200 mm、300 mm） | ダンピングモード | スプリングサスペンション |
応用事例
ガリウム砒素ウエハ/そうさはんい0.9µm×0.9µm/Sa=2.15nm,Sq=2.69nm
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